三坐標精度
根據現在的使用要求和加工水平，通常認為，三坐標角錐棱鏡的光束平行性以角秒為 單位，特高的在1"以下，高精度的是小于2"，中等精度應在6"左右,較低的精度大 于10"以上。至于角錐棱鏡出射光束波差值(PV值），高精度的是優于A/6，中等精 度應在A/4?A/2,低精度一般指1A以上(檢測波長A為632. 8nm)0
三坐標角錐棱鏡的其他技術要求，例如，表面缺陷及其他尺寸等也都有一定的， 甚至嚴格的要求。尤其是角錐棱鏡在列陣使用時，若尺寸不嚴,有可能影響拼縫的 質量和整體的尺寸，導致影響使用效果。關于三坐標角錐棱鏡檢測的進一步說明。
角錐棱鏡的加工精度與尺寸有直接關系，一般情況下，中等尺寸（〗?2in)的角 雜棱鏡較易于加工,較小的、較大的角錐棱鏡達到高精度指標的難度大大增加，故 價格亦增加。
小光學元件的檢測
小光學元件指尺寸在5mm以下的小玻璃球珠、小透鏡、小平面、小平板及小 棱鏡或小角錐棱鏡等。由于技術要求的側重點可能有所不同，使得檢驗的方法和 手段也有所差異。
對于這些小光學元件，表面缺陷的檢驗是共同的，即用放大鏡或在顯微鏡下觀 察表面的缺陷和棱邊的缺陷，這是必需的，也是最費時和費人工的，也是最容易引 起爭議的。
小光學元件的尺寸檢測基本上是用數 字式千分表和千分尺測量，小玻璃球珠的不 球度的抽檢也是這樣進行的。
平面表面和球面表面面形的檢驗，除了 用小樣板以外，更多的是在小型立式菲佐干 涉儀上檢測，如日本富士能（FUJINON)的 V10及R10JR10小口徑激光干涉儀，奧林 巴斯(OLYMPUS)的小型LD干涉儀（上置 式/下置式）及KIF小型激光干涉儀等都可 用在生產線上進行產品檢測，并已有廣泛的 應用。只要對某一規格的產品備有專用的 夾具，檢驗的速度還是相當滿意的。
批量銷售的二次元小光學元件東莞三豐技術有限公司除了提 供一系列中、大型數字波面干涉儀之外，這 精心研制了一種小型便攜式“SmA二次元”，旨在用于小球面加工現場生產線核測。整機采用緊湊設計，在工作時僅需要極小的空
。Smarc二次元設計性能卓越，易于調整標準三維樣品臺，使用電子開關轉換對點和測J 匱條紋窗口，操作簡單、有效。Smaix可選購各種配件，組成上視、下視及橫置系 充，滿足不同的測試需求。該儀器已批量供應國內市場。
其主要規格如下。
干涉儀類型：菲佐干涉 口徑：25mm
光源：半導體激光(A = 635nm)
光學質量：A/20(平面)，A/10(球面）
尺寸：90(W)mmX 130(D)mmX200(H)mm 質量:約3. 5kg 電源：AC220V 50Hz
標準配件：3軸樣品臺(球面測試用）、高分辨率黑白顯示器(9in)
供選配件：2軸樣品臺(傾斜調整，平面測試用）、小型液晶顯示器 標準鏡頭：標準平面鏡、標準球面鏡 頭（F/0. 7、F/1. 0、F/1. 5、F/2.0、F/3. 0、
F/5.0>。
半導體激光二次元
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