X、Z軸壓電陶瓷納米臺(tái)-上海納動(dòng)納米位移技術(shù)有限公司

產(chǎn)品描述
PSWL40-080U系列經(jīng)過(guò)化設(shè)計(jì)，可提供110μm行程范圍，同時(shí)保持其緊湊的外觀。 該平臺(tái)也可用于2軸版本XZ軸，也可用于帶有X軸或Z軸的1軸版本。PS2L40-080U可與Z軸組合升為XYZ產(chǎn)品，型號(hào)為PS3L40-080U-S。
閉環(huán)版本具有高分辨率應(yīng)變片式位置傳感器，可實(shí)現(xiàn)高精度和可重的運(yùn)動(dòng)，還可以補(bǔ)償壓電陶瓷的的蠕變。傳感器采用全閉環(huán)電橋設(shè)計(jì)。它可以在開(kāi)環(huán)或閉環(huán)控制中運(yùn)行。該產(chǎn)品可呆在定的負(fù)載進(jìn)行步進(jìn)掃描動(dòng)態(tài)使用。
由于其高價(jià)比和高能參數(shù)，該平臺(tái)在光纖對(duì)準(zhǔn)和激光寫入應(yīng)用中獲得了大的成。
PSWL40-080U系列的元件由集成在帶有內(nèi)部杠桿傳動(dòng)裝置的殼中的執(zhí)行器組成。 壓電平臺(tái)通過(guò)四個(gè)對(duì)角孔固定在基板上。納米臺(tái)可以通過(guò)兩個(gè)對(duì)角螺孔安裝在頂板上，由于杠桿傳動(dòng)在兩個(gè)方向上均起作用，因此需要避殼和頂板之間的作用力，因?yàn)樗鼈兛赡軙?huì)壞壓電納米位移平臺(tái)。
產(chǎn)品特
—高速響應(yīng)，多軸--
—700g承載重量
—亞納米范圍內(nèi)的高分辨率
—XZ軸雙向運(yùn)動(dòng)
選配能
—可定制孔位及轉(zhuǎn)接裝置
—可選PZT&Sensor連接器及線纜長(zhǎng)度
—可選配閉環(huán)(SGS) 位置反饋系
—可提供XYZ版本
應(yīng)用域
—原子力顯微鏡、掃描探顯微鏡
—測(cè)量、計(jì)量
—光學(xué)探、光學(xué)掃描、光束對(duì)準(zhǔn)
—微流技術(shù)

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