X軸壓電陶瓷納米臺-上海納動納米位移技術有限公司
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產品描述
PS1H40-015U系列X向維壓電納米--臺,設計用于生物/納米技術的緊湊型操縱工具。
本系列具有納米--分辨率的高速,可多軸,精納米--系統。 提供大的多能,可以配置XY/XZ或XYZ運動。
緊湊的尺寸,非常易于集成到任何掃描器中。超低的噪聲特和高諧振頻率使其非常適合要求噪聲水平低的高速能的計量應用。
壓電平臺內部使用無摩擦及空回的柔鉸鏈導向機構,采用有限元--分析化柔鉸鏈結構,柔導向系統具有超高的導向精度,且具有高剛、高負載、無磨、維等特點,壓電位移臺內置精位移傳感器進行全閉環的位置反饋,確保了位移臺具有佳的運動控制精度,--精度、分辨率和穩定可以達到納米量,--穩定時間僅為毫量。
壓電納米--臺為無磁材質,使用過程中不產生磁場同時也不受磁場的影響。壓電掃描臺特點積小、結構緊湊、易于集成。
產品特
—高速直接驅動
—緊湊型超小積設計
—SGS閉環控制
—可堆疊XY/XZ/XYZ運動
選配能
—可定制轉接裝置
—可選PZT&Sensor連接器及線纜長度
—可選配閉環(SGS) 位置反饋系
—定制其他材質
應用域
—原子力顯微鏡、掃描探顯微鏡
—高速、高分辨率--
—掃描、篩選
—表面分析、計量學
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